[发明专利]一种生长金刚石单晶用样品托及金刚石单晶生长方法在审
| 申请号： | 202010053405.7 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN111074343A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 丁雄傑;王忠强;王琦;张国义 | 申请（专利权）人： | 北京大学东莞光电研究院 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C30B25/16;C30B29/04;C23C16/27 |
| 代理公司： | 东莞恒成知识产权代理事务所(普通合伙) 44412 | 代理人： | 邓燕 |
| 地址： | 523808 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶体合成技术领域，具体涉及一种生长金刚石单晶用样品托及金刚石单晶生长方法，本发明的样品托包括外托和内托，外托设有用于容置内托的凹槽，凹槽设有内螺纹，内托设有与内螺纹相匹配的外螺纹，内托置于凹槽时，可经外螺纹和内螺纹调节内托相对外托的位置，本发明通过拧动外螺纹拧入内螺纹的位置，实现内托相对外托的位置调整，以维持内托上面的温度，从而更好地满足金刚石单晶的生长温度，有效抑制多晶生成；本发明的生长方法，通过采用高度可调节的样品托，有利于防止在MPCVD法生长一定厚度金刚石单晶时，多晶的生成，可通过多次、长时间生长，得到大厚度、高质量及均匀性好的单晶金刚石。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生长 金刚石 单晶用 样品 方法 | ||
【主权项】：
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