[发明专利]一种用于硅片加工的烧结炉带清洁装置

摘要

本发明公开了一种用于硅片加工的烧结炉带清洁装置，包括清洁台，所述清洁台底部外壁的四个拐角处均设置有支撑腿，所述清洁台的顶部外壁开有清洁槽，且清洁槽的顶部外壁开有排渣口，所述清洁台顶部外壁的四个拐角处均通过螺栓连接有电动伸缩杆，且电动伸缩杆的活塞一端设置有顶板，所述顶板的顶部外壁开有凹孔，且凹孔的内壁通过轴承转动连接有转动管，所述转动管的底部外壁焊接有转盘，且转盘的底部外壁设置有多个毛刷，所述转盘的内部设置有空腔。本发明使得烧结炉带在清洁过程中不会发生晃动，清洁效果更佳，且可以将毛刷以及烧结炉带上的粘附碎渣完全吹走，有效提高了装置的清洁速率，进一步提高了装置的清洁效果。