[发明专利]蒸发装置及蒸镀设备有效
| 申请号： | 202010041394.0 | 申请日： | 2020-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN111118452B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 贾晓晨;关立伟;刘锦东;张学政 | 申请（专利权）人： | 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 李迎亚;姜春咸 |
| 地址： | 017020 内蒙古自治*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种蒸发装置及蒸镀设备，属于蒸镀技术领域，其可解决现有的蒸发装置中主体材料与掺杂材料掺杂不均匀的问题。本发明的蒸发装置，包括：外壳、位于外壳中的多个坩埚和多个第一喷嘴；坩埚包括：坩埚主体和位于坩埚主体上的坩埚盖；第一喷嘴设置于坩埚盖上；蒸发装置还包括：间隔的多个挡板；挡板上设置有多个通孔，且通孔的孔径小于第一喷嘴的孔径；至少部分第一喷嘴被限定在挡板与坩埚盖之间，且与第一喷嘴上邻近的挡板之间具有一定距离。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 装置 设备 | ||
【主权项】：
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