[发明专利]一种旋转钛靶及其制备方法有效
| 申请号： | 202010029277.2 | 申请日： | 2020-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN111118460B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 吴健;黄显峰;雷雨;周志宏;肖世洪;赵明增 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F1/05;C23C24/04;C23C4/131;C23C4/08 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 510800 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种旋转钛靶及其制备方法。本发明的旋转钛靶的制备方法工艺简单，操作方便，合金成分范围宽，适合大规模工业生产，所制得的靶材纯度≥99.95％，相对密度≥95％，尺寸不受限制，厚度可达到3～12mm，长度可达到4000mm，氧含量≤1200ppm，晶粒尺寸小，成分稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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