[发明专利]多晶硅棒、多晶硅杆及其制造方法在审
| 申请号： | 202010025708.8 | 申请日： | 2020-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN111455461A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 星野成大;冈田哲郎;石田昌彦 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/14;C30B13/00;B24B5/04 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨青;安翔 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明涉及多晶硅棒、多晶硅杆及其制造方法。提供适合作为基于FZ法的单晶硅的制造用原料的多晶硅杆。在对通过西门子法培育出的多晶硅棒(10)进行外圆磨削的工序中，以使多晶硅杆(30)的中心轴(C |
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| 搜索关键词： | 多晶 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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