[发明专利]一种化学机械平坦化设备在审
| 申请号： | 202010022671.3 | 申请日： | 2020-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN111136576A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 杨老又 | 申请（专利权）人： | 杨老又 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B47/00;B24B47/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214500 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种化学机械平坦化设备，其结构包括旋转电机、抛光盘、转杆、承载器、底支座、支撑柱、承载器调节结构，旋转电机固定安装于承载器调节结构上方通过机械连接，本发明通过设置滑轨结构与滑行器，推动防护壳，使得防护壳带动滑槽架上的滑条在滑板上的滑槽内进行滑动，从而让连接在旋转电机上的承载器随之进行移动，避免承载器上安装的硅片在抛光盘上同一轨迹上进行旋转打磨抛光，致使抛光盘被严重的磨损掉，从而影响抛光的精度，通过设置支板旋转结构，通过左右推动连接支架板，使得固定旋转底支板上的滚动槽内的滚动小球将会在上顶板与连接支座内壁进行滚动，减小其与两端面之间的摩擦力，从而能够快速有效的对连接支架板角度进行调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 平坦 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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