[发明专利]一种用于增加RCZ用石英坩埚寿命的方法有效

专利信息
申请号: 202010020172.0 申请日: 2020-01-09
公开(公告)号: CN110923805B 公开(公告)日: 2021-12-21
发明(设计)人: 闫斌;李世超;段俊飞;张小虎;马新星 申请(专利权)人: 包头美科硅能源有限公司
主分类号: C30B15/10 分类号: C30B15/10;C30B29/06
代理公司: 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 代理人: 任立
地址: 014010 内蒙古自治区*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要: 发明涉及一种用于增加RCZ用石英坩埚寿命的方法,包括在碳碳埚帮(7)的上沿内侧开设一圈阶梯台(72),阶梯台(72)上开设一圈埚帮凹槽(73),并在石英坩埚(6)的上沿连接一圈向外卷曲的坩埚卡块(61),坩埚卡块(61)的竖截面为L型,坩埚卡块(61)的平直段(61a)连接于石英坩埚(6)的上沿处、垂直段(61b)向下正好卡入埚帮凹槽(73)内;最后距碳碳埚帮(7)上沿40mm处,在碳碳埚帮(7)上打一组直径为5mm的通孔(71),通孔(71)位于同一水平高度且可穿过内壁与埚帮凹槽(73)相连。本发明的优点是可以有效疏通产生的气体,避免坩埚鼓包的情况出现,而且还能单向固定坩埚上沿,防止塌边卷边,延长石英坩埚的使用寿命,保证正常的拉晶。
搜索关键词: 一种 用于 增加 rcz 石英 坩埚 寿命 方法
【主权项】:
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