[发明专利]一种用于增加RCZ用石英坩埚寿命的方法

说明书

本发明涉及一种用于增加RCZ用石英坩埚寿命的方法，包括在碳碳埚帮（7）的上沿内侧开设一圈阶梯台（72），阶梯台（72）上开设一圈埚帮凹槽（73），并在石英坩埚（6）的上沿连接一圈向外卷曲的坩埚卡块（61），坩埚卡块（61）的竖截面为L型，坩埚卡块（61）的平直段（61a）连接于石英坩埚（6）的上沿处、垂直段（61b）向下正好卡入埚帮凹槽（73）内；最后距碳碳埚帮（7）上沿40mm处，在碳碳埚帮（7）上打一组直径为5mm的通孔（71），通孔（71）位于同一水平高度且可穿过内壁与埚帮凹槽（73）相连。本发明的优点是可以有效疏通产生的气体，避免坩埚鼓包的情况出现，而且还能单向固定坩埚上沿，防止塌边卷边，延长石英坩埚的使用寿命，保证正常的拉晶。

技术领域

本发明涉及光伏制造技术领域，尤其是一种用于增加RCZ用石英坩埚寿命的方法。

背景技术

在太阳能级单晶硅多次投料拉晶即RCZ中，常用的石英坩埚为直臂结构，外面包覆着碳碳埚帮、内设有外导流筒，坩埚直接放置在下方的石墨埚托上，石墨埚托与碳碳埚帮的底部相连。

现在太阳能级单晶硅生产过程中，由于石英坩埚和碳碳埚帮都直壁结构的，石英坩埚加热软化后易塌边鼓包，托杆可以纵向上下移动，熔料时坩埚处于下限位，坩埚上沿容易因没有支撑而被烤变形以至塌边、卷边，直接影响正常生产。当塌边与导流筒产生摩擦时，会严重影响到正常拉晶，只能被迫停炉处理，损失较为严重；此外，拉晶过程中，石英坩埚在逆时针旋转同时缓慢上升，导流筒是静止不动的，石英坩埚、热场石墨件之间相互反应会生成一些气体，当气体积聚到石英坩埚与埚帮中间时，随着温度的升高气体膨胀，将变软的石英撑起一个鼓包，当鼓包高度大于导流筒与坩埚间距时，导流筒与鼓包位置会产生摩擦影响正常拉晶。

发明内容

本发明目的就是为了解决现有石英坩埚塌边、卷边、易鼓包的问题，提供了一种用于增加RCZ用石英坩埚寿命的方法，不仅可以有效疏通产生的气体，避免坩埚鼓包的情况出现，而且还能单向固定坩埚上沿，防止塌边卷边，延长石英坩埚的使用寿命，保证正常的拉晶。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种用于增加RCZ用石英坩埚寿命的方法，包括以下具体步骤：

（1）开设阶梯台：首先，在碳碳埚帮的上沿内侧开设一圈阶梯台，阶梯台所在平面平行于碳碳埚帮的上沿所在水平面，且阶梯台的中心与碳碳埚帮的中轴线重合；

（2）开槽：沿着阶梯台与碳碳埚帮的连接处向下，在阶梯台上开设一圈埚帮凹槽，埚帮凹槽的中线与阶梯台的中线重合；

（3）加装卡块：在石英坩埚的上沿连接一圈向外卷曲的坩埚卡块，坩埚卡块的竖截面为L型，坩埚卡块的平直段连接于石英坩埚的上沿处，坩埚卡块的垂直段向下正好卡入埚帮凹槽内；

（4）打孔：最后，距碳碳埚帮上沿40mm处，在碳碳埚帮上打一组直径为5mm的通孔，通孔位于同一水平高度，以便于排气使用。

进一步地，阶梯台的宽度不大于碳碳埚帮的壁厚的三分之二。

进一步地，埚帮凹槽的宽度为阶梯台厚度的一半。

进一步地，坩埚卡块的平直段的宽度等于阶梯台的宽度、垂直段的长度等于埚帮凹槽的深度。

进一步地，通孔在碳碳埚帮上等分选取，以利于均匀排气。

本发明的技术方案中，通过石英坩埚与碳碳埚帮的上沿之间的直角交叉契合结构，当石英坩埚长时间在高温度烘烤时变软下榻卷曲时，直角交叉契合结构不仅可以单向固定石英坩埚，还可以起加强支撑的作用，同时结合通孔的排气效果，也会起到给排气提供通道和空间的作用，有效地疏通了石英坩埚与碳碳埚帮之间产生的气体，避免坩埚鼓包的情况出现，防止塌边卷边，延长石英坩埚的使用寿命，保证正常的拉晶。

附图说明

图1为本发明的RCZ用石英坩埚的整体结构图；