[发明专利]激光能量测定装置及激光能量测定方法在审
| 申请号： | 201980040983.2 | 申请日： | 2019-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN112313487A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 水村通伸 | 申请（专利权）人： | 株式会社V技术 |
| 主分类号： | G01J1/02 | 分类号： | G01J1/02;G01J4/04;H01L21/20;H01L21/268;H01S3/00 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华;洪秀川 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种能够准确地评价向基板照射的激光的激光能量测定装置。本发明的激光能量测定装置具备：第一分束器，其在照明光学系统的内部或外部，将激光通过P偏振反射及S偏振反射中的一方进行反射；第二分束器，其针对由第一分束器反射了的第一反射光实施P偏振反射及S偏振反射中的另一方；第一测定部，其测定由第二分束器反射了的第二反射光的能量；以及第二测定部，其测定透过了第二分束器的透射光的能量。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 能量 测定 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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