[实用新型]半导体晶元的切割设备有效
申请号: | 201922491390.8 | 申请日: | 2019-12-30 |
公开(公告)号: | CN211891499U | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | 张树凡;朱水明 | 申请(专利权)人: | 深圳市合力鑫电子设备有限公司 |
主分类号: | B28D5/02 | 分类号: | B28D5/02;B28D7/00;B28D7/02;B28D7/04 |
代理公司: | 深圳市深可信专利代理有限公司 44599 | 代理人: | 刘昌刚 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半导体晶元的切割设备,包括安装平台、晶元切割机构、晶元夹紧旋转机构、晶元承托定位机构、切割机构铰接座、切割机构铰接轴、切割机构摆动气缸、气缸连接头,晶元切割机构包括切割机构安装架及切割驱动电机、切刀安装轴,切割驱动电机的输出端设置有切割主动同步轮,切刀安装轴的一端设置有切割从动同步轮,切割主动同步轮与切割从动同步轮之间绕设有切割同步带,切刀安装轴的另一端设置有切刀安装盘,切刀安装盘上安装有晶元切刀,切割驱动电机可通过切割主动同步轮、切割从动同步轮及切割同步带带动晶元切刀转动。该种半导体晶元的切割设备具有结构简单、性能稳定可靠、实施成本低、切割效率高、便于自动化推广、安全性好等优点。 | ||
搜索关键词: | 半导体 切割 设备 | ||
【主权项】:
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