[实用新型]一种火焰水解沉积装置有效
| 申请号： | 201922473166.6 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN211707301U | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 胡海鑫;王文进 | 申请（专利权）人： | 广东瑞芯源技术有限公司 |
| 主分类号： | B05D1/00 | 分类号： | B05D1/00 |
| 代理公司： | 广州市南锋专利事务所有限公司 44228 | 代理人： | 高崇 |
| 地址： | 528251 广东省佛山市南海区桂*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种火焰水解沉积装置，包括有用于装载硅晶圆片的转台和设于所述转台上方、用于产生火焰以使硅晶圆片上形成沉积硅膜的喷炬；所述转台上设置有用于固定和装载硅晶圆片的圆型凹槽；所述圆型凹槽的中心位置上成型有呈圆柱状的凸台，其中，所述凸台的顶面的轮廓形状与所述硅晶圆片的轮廓形状相一致以供所述硅晶圆片水平放置，且当所述硅晶圆片放置于所述凸台上时，所述硅晶圆片的顶面与所述转台的顶面相齐平；所述凸台的边缘与所述圆型凹槽的内壁之间设置有一可升降移动的圆环。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 火焰 水解 沉积 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东瑞芯源技术有限公司，未经广东瑞芯源技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201922473166.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种减震轮成型模具
- 下一篇：一种降噪生产止水带设备
