[实用新型]一种半导体硅材料生长炉的石墨伸缩气管及生长炉有效

专利信息
申请号: 201922373941.0 申请日: 2019-12-26
公开(公告)号: CN211734530U 公开(公告)日: 2020-10-23
发明(设计)人: 李辉;张熠;郑锴;秦英谡;穆童 申请(专利权)人: 南京晶升能源设备有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B11/00
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 张弛
地址: 211113 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种半导体硅材料生长炉的石墨伸缩气管及生长炉,伸缩气管包括顶盖、气管外筒、气管中筒、气管内筒、底托;气管中筒相对气管外筒向下移动气管内筒相对气管中筒向下移动,可以实现坩埚升降过程中,石墨伸缩气管同步伸缩运动,同时避免杂质掉入熔体中。
搜索关键词: 一种 半导体 材料 生长 石墨 伸缩 气管
【主权项】:
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