[实用新型]腔室装置有效
| 申请号： | 201922335850.8 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN211595788U | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 赤塚隼也 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种腔室装置，具备作业者能够进入内部的具有开闭门的腔室本体，其特征在于，相对于上述腔室本体设置有排气路，在该排气路上设置有能够与上述开闭门的开闭联动地进行开闭的开闭阀，上述排气路与设置于上述腔室本体的壁面上的、中心线比上述开闭门的上边缘高的位置的开口部连接。在需要排出的气体的密度比置换后的气体的密度小时，能够将需要排出的气体更高效地排出。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能特机株式会社，未经佳能特机株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201922335850.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种铣毛刺装置
- 下一篇：一种平板印刷机墨路结构
- 同类专利
- 专利分类
