[实用新型]一种调节成像光路倍率及夹角的装置有效
| 申请号： | 201922277839.0 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN211427045U | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 肖燕青;何伟;程珂;陈海巍 | 申请（专利权）人： | 江苏影速集成电路装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 彭素琴 |
| 地址： | 221000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种调节成像光路倍率及夹角的装置，属于曝光技术领域。本实用新型的调节成像光路倍率及夹角的装置，包括DMD承载台、夹角调节装置和底座，其中DMD承载台用于承载DMD组件，包括至少三个倍率调节装置；通过旋转倍率调节装置上的手杆，使其上的指针对应相同值的刻度，达到升降DMD承载台以调节DMD与到PCB板的距离，此过程无需对设备进行拆卸，方便操作，且指针和刻度的配合，使得在调节各个倍率调节装置时有所参照，达到准确调节的要求；在需要进行夹角调节时，通过旋转手轮来调节中空的板件的相对位置，从而带动DMD承载台位置的改变来达到夹角调节的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调节 成像 倍率 夹角 装置 | ||
【主权项】：
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