[实用新型]一种长条高真空阴极电弧靶装置有效
| 申请号： | 201922187835.3 | 申请日： | 2019-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN211814630U | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 廖斌;华青松;何光宇;欧阳晓平;罗军;陈琳;张旭;吴先映;庞盼;韩然;英敏菊 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学;稳力（广东）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 曹鹏飞 |
| 地址： | 100875 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种长条高真空阴极电弧靶装置，真空室用于放置长条高真空阴极电弧靶装置，包括：主支撑架、阳极、阴极靶材、屏蔽电极、第一屏蔽环、永磁体、触发电极和旋转部件；主支撑架上安装所述旋转部件；旋转部件与阴极靶材固定连接，并进行旋转动作；阳极与主支撑架连接；第一屏蔽环固定在阳极上，屏蔽阴极靶材和真空室；屏蔽电极包裹阴极靶材，并且阴极靶材的内部设置有永磁体；触发电极安装在屏蔽电极上，并且触发电极与触发电源电性连接。本实用新型提供了一种长条高真空阴极电弧靶装置，实现其能在高真空下稳定、可靠的弧光放电，同时大幅减低起弧时因温度过高而带来的颗粒喷射和提高阴极寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 长条 真空 阴极 电弧 装置 | ||
【主权项】：
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