[实用新型]真空腔室的真空控制结构有效
| 申请号： | 201921476619.4 | 申请日： | 2019-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN210599315U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 黄奕宏;刘驰;秦超;尹国伟;刘瑶林;方明登;韩宁宁;曹术;陈锦杰;杨杰;庄庆波;林锋;邓慧建;黄露;徐星明;温业锋;陈浩;林伟龙 | 申请（专利权）人： | 深圳市深科达智能装备股份有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;H01J37/32 |
| 代理公司： | 深圳市壹品专利代理事务所(普通合伙) 44356 | 代理人： | 江文鑫;唐敏 |
| 地址： | 518103 广东省深圳市宝安区福永街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及真空控制结构的技术领域，公开了真空腔室的真空控制结构，包括处于常开状态的真空泵、主干管道以及多个分流管道，真空泵与主干管道连接，多个分流管道分别与主干管道连通，分流管道连通有腔室，分流管道上设置有阀门；由于真空泵处于常开状态，主干管道以及分流管道内始终处于真空状态，抽真空时，打开阀门，真空泵只需要抽取真空腔室内的气体，不需要抽取主干管道以及分流管道内的气体，减小了气体的抽取量，节约抽真空的时间，缩短真空腔室达到所需气压的时间，提高了抽真空的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 空腔 真空 控制 结构 | ||
【主权项】：
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