[实用新型]具有长度和晶线方向测量功能的单晶硅棒上料台有效
申请号: | 201921398547.6 | 申请日: | 2019-08-27 |
公开(公告)号: | CN211137735U | 公开(公告)日: | 2020-07-31 |
发明(设计)人: | 张天泽;郑家坤 | 申请(专利权)人: | 大连昊霖智能装备有限公司 |
主分类号: | B28D7/00 | 分类号: | B28D7/00;G01S17/06;G01S17/08 |
代理公司: | 大连格智知识产权代理有限公司 21238 | 代理人: | 刘琦 |
地址: | 116031 辽宁省大*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种具有长度和晶线方向测量功能的单晶硅棒上料台,上料台上设置两组夹持组,每组夹持组包括相互平行的齿条与导轨以及动夹持头和一个定夹持头;动夹持头和定夹持头均为转动式结构,转动平面垂直于单晶硅棒;齿条与导轨上搭设有滑块;滑块连接于滑块伺服电机;滑块还通过垂直于导轨的水平杆连接于动夹持头;定夹持头通过支架支撑于上料台上且连接于定夹持头伺服电机;两组夹持组平行排列设置于上料台上,且在两组夹持组之间设置有一个激光位移传感器;使用本实用新型,能同时对双棒进行长度和晶线方向测量。 | ||
搜索关键词: | 具有 长度 方向 测量 功能 单晶硅 棒上料台 | ||
【主权项】:
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