[实用新型]一种用于旋涂光刻胶的旋涂仪有效
| 申请号： | 201921330766.0 | 申请日： | 2019-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN210666331U | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 李永斌 | 申请（专利权）人： | 甘肃华隆芯材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 张串串 |
| 地址： | 730900 甘肃省白银市白银区兰包路33*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于旋涂光刻胶的旋涂仪，属于微加工装置领域，包括旋涂箱，所述旋涂箱内设置有静电吸附支撑台，所述静电吸附支撑台的底部设置有旋转驱动机构，所述静电吸附支撑台的上部设置有滴胶管，所述滴胶管延伸至所述旋涂箱的外侧，所述旋涂箱外侧的所述滴胶管上设置有供胶机构，所述旋涂箱的顶部一侧设置有开口，所述开口上连接有抽真空机构，所述静电吸附支撑台与外接电源电连接，所述旋涂箱的一侧设置有可打开的密封门，所述旋涂箱的外侧还设置有控制器。通过旋涂箱、静电吸附支撑台、静电吸附支撑台的底部的旋转驱动机构、滴胶管及抽真空机构的设置，能完全避开空气的作用，在涂胶时不会出现针孔现象，涂胶均匀，效果理想。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 旋涂仪 | ||
【主权项】：
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