[实用新型]一种光刻机光源装置

摘要

本实用新型提供一种光刻机光源装置。所述一种光刻机光源装置包括不锈钢架和控制系统，不锈钢架内表面通过螺钉与冷却装置固定连接，冷却装置一侧与光源单元板组合架间隙配合。本实用新型提供的一种光刻机光源装置通过采用控制系统，光电传感器能够通过光电效应来将光转换为电流，用电流大小来表示光强，光电传感器将数据转换为电信号传递到处理器，处理器通过信号发射器将电磁波发射出去，外界控制设备接收电磁波，并且发射电磁波回到信号接收器，信号接收器接收信号传导到处理器，处理器控制调光器来控制LED灯的亮度，解决了现有的光源装置，使用者无法了解光源装置内部所放出的光强，并且无法控制光强的问题。