[实用新型]靶材的绑定结构有效
| 申请号： | 201921290784.0 | 申请日： | 2019-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN210886199U | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 高明;张花蕊;张虎;陈浩杰 | 申请（专利权）人： | 北京航大微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C30/00;B23K31/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100089 北京市海淀区学*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种靶材的绑定结构，包括靶坯(1)以及用于支持所述靶坯(1)的金属基体(2)，所述靶坯(1)用于与所述金属基体(2)焊接的表面上结合有第一金属化层，所述第一金属化层自内而外依次为铜层、镍层，所述金属基体(2)选用与所述铜层的结合力好于与所述镍层的结合力的材质；所述金属基体(2)用于与所述靶坯(1)焊接的表面上结合有对应的第二金属化层，所述第二金属化层自内而外依次为铜层、镍层。本实用新型的该种靶材的绑定结构金属基体(2)与靶坯(1)之间的焊合率较高，且由于金属化层所用材质为铜、镍成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 绑定 结构 | ||
【主权项】：
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