[实用新型]一种化学机械研磨冷却装置有效
| 申请号： | 201920993130.8 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN210210008U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 田得暄;辛君;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B55/02 | 分类号： | B24B55/02 |
| 代理公司： | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人： | 张东梅 |
| 地址： | 223302 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种化学机械研磨冷却装置，包括：研磨头；冷却水入口，所述冷却水入口从所述研磨头的上面中间接入；冷却水出口，所述冷却水出口从所述研磨头的上面中间接出；以及冷却水通路，所述冷却水通路紧邻研磨头的研磨面设置，所述冷却水通路与所述冷却水入口、所述冷却水出口构成循环通路。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 研磨 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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