[实用新型]蒸镀源及蒸镀装置有效
| 申请号： | 201920182065.0 | 申请日： | 2019-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN209722279U | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 沈文涛;高超飞;葛晶涛;刘旭亮;张明照 | 申请（专利权）人： | 云谷(固安)科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 44224 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人： | 唐清凯<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种蒸镀源及蒸镀装置。蒸镀源包括：蒸镀源盖板，用于支撑蒸镀源盖板的支撑体；蒸镀源盖板相对于支撑体可旋转设置；其中，蒸镀源盖板包括盖板本体，盖板本体上设有贯穿盖板本体的至少一个贯通槽，且至少一个贯通槽呈螺旋状排布。应用本实用新型技术方案的蒸镀源及蒸镀装置，由于蒸镀材料能够从贯通槽中喷射至待蒸镀基板上，蒸镀过程中，蒸镀源盖板旋转，能够使蒸镀材料在喷射时发生旋转扩散，保证喷射出的蒸镀材料的均匀性，从而有利于改善成膜的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀源 盖板 盖板本体 蒸镀材料 贯通槽 喷射 本实用新型 蒸镀装置 均匀性 支撑体 可旋转设置 呈螺旋状 蒸镀基板 成膜 排布 蒸镀 扩散 贯穿 支撑 应用 保证 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀源，其特征在于，包括：蒸镀源盖板，用于支撑所述蒸镀源盖板的支撑体；所述蒸镀源盖板相对于所述支撑体可旋转设置；其中，所述蒸镀源盖板包括盖板本体，所述盖板本体上设有贯穿所述盖板本体的至少一个贯通槽，且所述至少一个贯通槽呈螺旋状排布。/n
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