[实用新型]一种扩晶机

摘要

本实用新型公开了一种扩晶机，它包括基座、扩晶机构；扩晶机构包括固定平台、横向扩展机构、纵向扩展机构；固定平台固定在基座上；纵向扩展机构包括第一扩展臂、第二扩展臂、扩展驱动丝杠、驱动电机；扩展驱动丝杠水平设置在固定平台上的底部；扩展驱动丝杠的两端设置有旋转方向相反的螺纹；第一扩展臂、第二扩展臂分别安装在扩展驱动丝杠的两端；且位于固定平台的相对的两个侧面横向扩展机构包括设置在固定平台两侧的第一横向扩展滚轮、第二横向扩展滚轮；本实用新型的横向扩展机构的步进电机根据薄膜厚度检测传感器检测到的薄膜厚度信息来工作，当薄膜厚度检测传感器测到的薄膜过薄时，横向扩展机构停止工作，以防止晶膜被拉伸过度。

主权项

1.一种扩晶机，其特征在于：它包括基座(1)、扩晶机构(2)；所述的基座(1)矩形框架状，扩晶机构(2)设置在基座(1)上；所述的扩晶机构(2)包括固定平台(21)、横向扩展机构(22)、纵向扩展机构(23)；所述的固定平台(21)固定在基座(1)上；所述的纵向扩展机构(23)包括第一扩展臂(231)、第二扩展臂(232)、扩展驱动丝杠(233)、驱动电机(234)；所述的扩展驱动丝杠(233)水平设置在固定平台(21)上的底部；所述的扩展驱动丝杠(233)的两端设置有旋转方向相反的螺纹；所述的第一扩展臂(231)、第二扩展臂(232)分别安装在扩展驱动丝杠(233)的两端；所述的第一扩展臂(231)、第二扩展臂(232)设置在固定平台(21)的侧面，且位于固定平台(21)的相对的两个侧面所述的横向扩展机构(22)包括设置在固定平台(21)两侧的第一横向扩展滚轮(221)、第二横向扩展滚轮(222)；且第一横向扩展滚轮(221)、第二横向扩展滚轮(222)分别与第一扩展臂(231)、第二扩展臂(232)相邻设置。