[发明专利]对称型热电式MEMS微波驻波计及其制备方法有效
| 申请号： | 201911412946.8 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111044796B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 张志强;孙国琛;黄晓东;韩磊 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01R29/08 | 分类号： | G01R29/08;G01R21/02;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 薛雨妍 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明的对称型热电式MEMS微波驻波计通过将两端ACPS传输线的信号线对称分布于主传输线的上下两侧构成一个对称型定向耦合器，将入射和反射微波功率分别提取到上下两条支路的耦合端和隔离端；通过在上下两支路的每个CPW传输线末端分别连接一个热电式MEMS微波功率传感器测量两支路各端口的微波功率，对测得的输出热电压取平均值，可得更准确的入射和反射微波功率，进而得到驻波比的大小；若某条支路停止工作，另一条支路仍可正常工作，即MEMS微波驻波计仍可进行测量，减小了故障率；该对称型热电式MEMS微波驻波计提高了MEMS微波驻波计的可靠性，其采用了全无源结构具有零直流功耗以及与砷化镓单片微波集成电路工艺兼容的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 对称 热电 mems 微波 驻波 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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