[发明专利]一种双阻带滤波器及其制作方法在审
| 申请号： | 201911397194.2 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN110931927A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 万晶;梁晓新;阎跃鹏;邱文才;孟真 | 申请（专利权）人： | 广东大普通信技术有限公司 |
| 主分类号： | H01P1/203 | 分类号： | H01P1/203;H01P11/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 523808 广东省东莞市松山湖高新技术产*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双阻带滤波器及其制作方法。其中，双阻带滤波器包括至少一个硅腔谐振单元，硅腔谐振单元包括依次设置的底层金属层、高阻硅介质层和顶层金属层，每个硅腔谐振单元的边缘设置有多个通孔，通孔贯穿底层金属层、高阻硅介质层和顶层金属层，通孔的内侧表面形成有金属沉积层，双阻带滤波器还包括至少一个槽线式双阻带谐振器，槽线式双阻带谐振器包括形成在顶层金属层的第一槽线和第二槽线，第一槽线和第二槽线贯穿顶层金属层，且第二槽线的一端与第一槽线的中点连通。本发明提供的双阻带滤波器及其制作方法，解决了现有双阻带滤波器体积较大，带外抑制度差不易实现多芯片集成的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双阻带 滤波器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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