[发明专利]一种微电子元件框架干燥装置

摘要

本发明公开了一种微电子元件框架干燥装置，涉及微电子元件技术领域；为了解决对多数微电子元件干燥无法同时实施的问题；具体包括干燥箱，所述干燥箱的内部插接有抽屉，且抽屉的内壁固定连接有格栅，格栅将抽屉的内部分隔成多个储物腔，储物腔的底部均开有第一导气口，所述干燥箱的顶部外壁中间位置固定连接有顶框，且顶框的顶部内壁固定连接有风扇，所述顶框的底部和干燥箱的顶部之间开有进气口。本发明利用电加热管对顶框的内部进行加热处理，并通过温度传感器和处理器控制温度，通过抽屉将微电子元件框架推入干燥箱内，便于同时对多数微电子元件框架进行干燥处理，提高装置的使用效果。

主权项

1.一种微电子元件框架干燥装置，包括干燥箱（5），其特征在于，所述干燥箱（5）的内部插接有抽屉（3），且抽屉（3）的内壁固定连接有格栅（10），格栅（10）将抽屉（3）的内部分隔成多个储物腔（11），储物腔（11）的底部均开有第一导气口（14），所述干燥箱（5）的顶部外壁中间位置固定连接有顶框（6），且顶框（6）的顶部内壁固定连接有风扇（18），所述顶框（6）的底部和干燥箱（5）的顶部之间开有进气口（16），进气口（16）的内壁固定连接有电加热管（17），所述顶框（6）的顶部开有多个第二导气口，且干燥箱（5）的底部开有多个出气口（13），出气口（13）的内部和第二导气口的内部均固定连接有防尘网（7）。/n