[发明专利]一种电子束镀膜用修正板结构在审
| 申请号： | 201911121456.2 | 申请日： | 2019-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN110983260A | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 季韬;曹绪文;祖伟;任清江;宋盖文;王仕伟;朱平 | 申请（专利权）人： | 安徽熙泰智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 蒋兵魁 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市芜湖长江*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种应用于电子束镀膜技术领域的电子束镀膜用修正板结构，所述的电子束镀膜用修正板结构的主杆(1)上设置多个沟槽杆(2)，每个沟槽杆(2)上设置上层沟槽(3)和下层沟槽(4)，每个沟槽杆(2)的上层沟槽(3)和一侧相邻的一个沟槽杆(2)的上层沟槽(3)设置一块修正子板(5)，每个沟槽杆(2)的下层沟槽(4)和另一侧相邻的一个沟槽杆(2)的下层沟槽(4)设置另一块修正子板(5)，本发明所述的电子束镀膜用修正板结构，能够方便实现修正子板的位置快捷调整，有效达到调解镀锅的各圈膜层厚度目的，提高镀膜时圈次间均匀性，提高修正子板通用性，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 镀膜 修正 板结 | ||
【主权项】：
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