[发明专利]一种为多面共体反射镜制备金属薄膜的异形靶有效

专利信息
申请号: 201911046706.0 申请日: 2019-10-30
公开(公告)号: CN110747433B 公开(公告)日: 2021-06-01
发明(设计)人: 闫永达;毛立阳;曹永智;耿延泉;王桐 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学
主分类号: C23C14/16 分类号: C23C14/16;C23C14/35;G02B1/10
代理公司: 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 代理人: 高媛
地址: 150001 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 一种为多面共体反射镜制备金属薄膜的异形靶,本发明属于金属薄膜领域。水咀座后端与支撑管一端可拆卸连接,多个永磁铁套装在支撑管上且与支撑管间隙配合,每个隔离圈均由两个半圆环体组成,每两个半圆环体扣合设置在支撑管上,每两个半圆环体设置在支撑管外壁上并扣合且互相连接,多个隔离圈和多个永磁铁依次交替设置,异形靶材中部设有空腔,异形靶材的外形为柱状,异形靶材套装在多个隔离圈及多个永磁铁外侧,水咀座后端与异形靶材前端可拆卸连接,异形靶材后端与端盖可拆卸连接。本发明的异形靶的多个溅射面与多个反射镜对应一一对应,镀制的薄膜均匀性可以保证,异形靶与多面共体反射镜之间无需运动,缩小了薄膜沉积设备内腔的体积。
搜索关键词: 一种 多面 反射 制备 金属 薄膜 异形
【主权项】:
1.一种为多面共体反射镜制备金属薄膜的异形靶,其特征在于:包括靶体及异形靶材(2),所述靶体包括水咀座(1)、支撑管(5)、端盖(6)、多个隔离圈(3)及多个永磁铁(4);/n所述水咀座(1)后端与支撑管(5)一端可拆卸连接,所述多个永磁铁(4)均为环状,且多个永磁铁(4)套装在支撑管(5)上且与支撑管(5)间隙配合,每个所述隔离圈(3)均由两个半圆环体组成,每两个半圆环体设置在支撑管(5)外壁上并扣合且互相连接,所述多个隔离圈(3)和多个永磁铁(4)依次交替设置,所述异形靶材(2)中部设有空腔,异形靶材(2)的外形为柱状,异形靶材(2)套装在多个隔离圈(3)及多个永磁铁(4)外侧,水咀座(1)后端与异形靶材(2)前端可拆卸连接,异形靶材(2)后端与端盖(6)可拆卸连接。/n
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