[发明专利]真空机台内发光材料废料量检测装置在审
| 申请号： | 201911030596.9 | 申请日： | 2019-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN110779930A | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 宋媛媛 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/94 | 分类号： | G01N21/94;G01F22/00 |
| 代理公司： | 44570 深圳紫藤知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨艇要 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空机台内发光材料废料量检测装置，所述检测装置设置在机台内，包括能够激发发光材料发光的发光源，及能够监控发光材料发光的图像接收装置，所述图像接收装置将机台内残余发光材料的信息以图片形式传送至图像分析终端，经灰阶分析判断是否需要对腔体进行开腔清理，避免了频繁开腔影响机台稼动率及密封性能的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 机台 发光材料 开腔 图像接收装置 检测装置 发光 激发发光材料 分析判断 密封性能 图片形式 图像分析 发光源 废料量 稼动率 灰阶 腔体 传送 终端 监控 | ||
【主权项】：
1.真空机台内发光材料废料量检测装置，其特征在于，所述机台包括一密闭的腔体，所述检测装置包括设置于所述腔体内的至少一个发光源，以及至少一个图像接收装置；/n所述发光源用于激发所述腔体内的残余发光材料发光；/n所述图像接收装置用于采集所述残余发光材料发出的光信号，并将其转变为图像信号传送至所述腔体外部的图像分析终端；/n其中，所述图像分析终端对所采集的图像的灰阶信息进行分析，检测出所述发光材料的废料量。/n
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