[发明专利]基于喷墨打印技术的分波段柔性光探测器及打印方法有效

专利信息
申请号: 201910917822.9 申请日: 2019-09-26
公开(公告)号: CN110581187B 公开(公告)日: 2021-06-01
发明(设计)人: 黎大兵;刘新科;孙晓娟;贾玉萍;石芝铭 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: H01L31/0264 分类号: H01L31/0264;H01L31/0304;H01L31/0352;H01L31/109;H01L31/18
代理公司: 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 代理人: 朱红玲
地址: 130000 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 基于喷墨打印技术的分波段柔性光探测器及打印方法,涉及半导体材料技术领域,解决现有探测器存在无法进行分波段探测,且不能实现柔性化设计的问题,依次在衬底上打印的MoS2层、石墨烯层、BN层以及Ag层;在所述衬底背面打印PtSe2层和Ag层;MoS2层、石墨烯层、BN层、Ag层以及PtSe2层的厚度均为1μm‑10μm。还包括分别在石墨烯层、BN层、Ag层生长Al2O3保护层,Al2O3保护层的厚度为2nm‑3nm。本发明采用喷墨打印技术制备半导体二维材料以及电极。提出的分波段柔性光探测器,增加栅极的结构,并在栅极下方生长氮化硼二维材料,使得二硫化钼产生光生载流子时表现为栅极电流增加,实现分波段的探测由于选用透明的衬底,还在器件背部生长二硒化铂二维材料以实现对中红外波段的响应。
搜索关键词: 基于 喷墨 打印 技术 波段 柔性 探测器 方法
【主权项】:
1.一种基于喷墨打印技术的分波段柔性光探测器,其特征是:包括依次在衬底上打印的MoS
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