[发明专利]基于切割头移动、静止的双棒式单晶硅棒开方机

摘要

本发明公开了一种基于切割头移动、静止的双棒式单晶硅棒开方机，包括切割头和夹持装置；切割头正面固定有两根上下水平排列的长切割主辊以及三根左右竖向排列的短切割主辊；长切割主辊与短切割主辊均分别通过一个伺服电机驱动转动；每个长切割主辊上设置四个导轮，每个短切割主辊上设置有两个导轮；金刚线从固定板背面穿出设于导轮后穿回背面，经过多次相同的操作最终在切割头正面形成两个井字形的切割线网，切割头在两个切割线网处别设置单晶硅棒通过口；夹持装置有两组分别用于夹持两根单晶硅棒；切割头与夹持装置存在相对运动。使用本发明开方机够对单晶硅棒进行双棒高效率加工。

主权项

1.一种基于切割头移动、静止的双棒式单晶硅棒开方机，其特征在于，包括用于切割单晶硅棒的切割头和用于夹持所述单晶硅棒的夹持装置；/n所述切割头包括竖立的固定板(71)，所述固定板(71)的正面固定有两根上下水平排列的长切割主辊，分别为位于上部的上长切割主辊(72)和位于下部的下长切割主辊(73)；/n所述固定板(71)的正面还固定有三根左右竖向排列的短切割主辊，分别为位于左侧的左短切割主辊(74)，位于中部的中短切割主辊(75)，以及位于右侧的右短切割主辊(76)；/n所述长切割主辊与所述短切割主辊均分别通过一个切割头伺服电机(77)驱动转动；/n所述上长切割主辊(72)上从左到右依次设置有均垂直于所述上长切割主辊(72)的第一导轮、第二导轮、第三导轮以及第四导轮；/n所述下长切割主辊(73)上从左到右依次设置有均垂直于所述下长切割主辊(73)的第五导轮、第六导轮、第七导轮以及第八导轮；/n所述左短切割主辊(74)上从上到下依次设置有均垂直于所述左短切割主辊(74)的第九导轮和第十导轮；/n所述中短切割主辊(75)上从上到下依次设置有均垂直于所述中短切割主辊(75)的第十一导轮和第十二导轮；/n所述右短切割主辊(76)上从上到下依次设置有均垂直于所述右短切割主辊(76)的第十三导轮和第十四导轮；/n所述第一导轮与所述第二导轮的间距＝所述第三导轮与所述第四导轮的间距＝所述第五导轮与所述第六导轮的间距＝所述第七导轮与所述第八导轮的间距＝所述第九导轮与所述第十导轮的间距＝所述第十一导轮与所述第十二导轮的间距＝所述第十三导轮与所述第十四导轮的间距；/n所述第一导轮与所述第五导轮位于同一平面；第一金刚线从所述固定板(71)的背面穿透所述固定板(71)后绕设于所述第一导轮与所述第五导轮后再次穿透所述固定板(71)回到所述固定板(71)背面；/n所述第二导轮与所述第六导轮位于同一平面；第二金刚线从所述固定板(71)的背面穿透所述固定板(71)后绕设于所述第二导轮与所述第六导轮后再次穿透所述固定板(71)回到所述固定板(71)背面；/n所述第三导轮与所述第七导轮位于同一平面；第三金刚线从所述固定板(71)的背面穿透所述固定板(71)后绕设于所述第三导轮与所述第七导轮后再次穿透所述固定板(71)回到所述固定板(71)背面；/n所述第四导轮与所述第八导轮位于同一平面；第四金刚线从所述固定板(71)的背面穿透所述固定板(71)后绕设于所述第四导轮与所述第八导轮后再次穿透所述固定板(71)回到所述固定板(71)背面；/n所述第九导轮、所述第十一导轮以及所述第十三导轮位于同一平面；第五金刚线从所述固定板(71)的背面穿透所述固定板(71)后绕设于所述第九导轮、所述第十一导轮以及所述第十三导轮后再次穿透所述固定板(71)回到所述固定板(71)背面；/n所述第十导轮、所述第十二导轮以及所述第十四导轮位于同一平面；第六金刚线从所述固定板(71)的背面穿透所述固定板(71)后绕设于所述第十导轮、所述第十二导轮以及所述第十四导轮后再次穿透所述固定板(71)回到所述固定板(71)背面；/n相互平行的所述第一金刚线、所述第二金刚线与相互平行的所述第五金刚线、所述第六金刚线垂直相交形成第一井字形；所述固定板(71)在所述第一井字形区域开设有第一单晶硅棒通过口(78)；/n相互平行的所述第三金刚线、所述第四金刚线与相互平行的所述第五金刚线、所述第六金刚线垂直相交形成第二井字形；所述固定板(71)在所述第二井字形区域开设有第二单晶硅棒通过口(79)；/n所述中短切割主辊(75)位于所述第一单晶硅棒通过口(78)与所述第二单晶硅棒通过口(79)之间；/n所述夹持装置包括两组，每组所述夹持装置包括动夹头装置(16)以及定夹头装置(17)；/n所述动夹头装置(16)包括设置于动夹头直线导轨(2)上的动夹头体(1)，所述动夹头体(1)的底部连接于用于推动所述动夹头体(1)在所述动夹头直线导轨(2)上滑动的动夹头伺服电缸(3)；所述动夹头直线导轨(2)固定于底座(18)上方；/n所述动夹头体(1)包括一个与所述动夹头直线导轨(2)平行且水平朝向所述定夹头装置(17)的第一水平环柱(4)，所述第一水平环柱(4)朝向所述定夹头装置(17)的一端为第一开敞开口，从所述第一开敞开口向所述第一水平环柱(4)内嵌入有紧贴所述第一水平环柱(4)内壁的第一伸缩夹头体(113)；所述第一伸缩夹头体(113)内嵌入有动夹头座体(115)，所述动夹头座体(115)内嵌入有动夹头主轴(116)，所述动夹头主轴(116)朝向所述定夹头装置(17)的一端从所述第一开敞开口伸出且通过动夹头轴承(118)连接于动夹头(6)；所述动夹头主轴(116)背离所述定夹头装置(17)的一端连接于增压缸(110)；所述第一伸缩夹头体(113)背离所述定夹头装置(17)的一端固定有4个第一气缸(7)，4个所述第一气缸(7)分别连接于水平搭设于所述第一伸缩夹头体(113)内且从所述第一开敞开口伸出的4个第一边皮顶杆(5)；4个所述第一边皮顶杆(5)分别位于所述动夹头主轴(116)的上下左右且与所述动夹头主轴(116)的间距相同；/n所述定夹头装置(17)包括固定于底座(18)的定夹头体(13)，所述定夹头体(13)包括一个与所述动夹头直线导轨(2)平行且水平朝向所述动夹头装置(16)的第二水平环柱，所述第二水平环柱朝向所述动夹头装置(16)的一端为第二开敞开口，从所述第二开敞开口向所述第二水平环柱内嵌入有紧贴所述第二水平环柱内壁的第二伸缩夹头体；所述第二伸缩夹头体内嵌入有定夹头座体，所述定夹头座体内嵌入有定夹头主轴，所述定夹头主轴朝向所述动夹头装置(16)的一端从所述第二开敞开口伸出并连接于定夹头(15)，所述定夹头主轴背离所述动夹头装置(16)的一端连接于定夹头伺服电机(10)；所述第二伸缩夹头体背离所述动夹头装置(16)的一端固定有4个第二气缸(12)，4个所述第二气缸(12)分别连接于水平搭设于所述第二伸缩夹头体内且从所述第二开敞开口伸出的4个第二边皮顶杆(14)；4个所述第二边皮顶杆(14)分别位于所述定夹头主轴的上下左右且与所述定夹头主轴的间距相同；/n所述动夹头(6)与所述定夹头(15)位于同一水平线且互指；/n四个所述第一边皮顶杆(5)分别与四个所述第二边皮顶杆(14)位于同一水平线且互指；/n所述动夹头(6)与所述定夹头(15)分别位于所述固定板(71)的两侧；/n一组所述夹持装置内的所述动夹头(6)和所述定夹头(15)所处直线垂直穿过所述第一单晶硅棒通过口(78)，另一组所述夹持装置内的所述动夹头(6)和所述定夹头(15)所处直线垂直穿过所述第二单晶硅棒通过口(79)；/n所述切割头与所述夹持装置通过设置于所述切割头或所述夹持装置底部的滑轨存在垂直于所述固定板(71)的相对运动。/n