[发明专利]一种梯度叠层阵列、制备方法及气体多组分浓度检测方法有效
| 申请号： | 201910629988.0 | 申请日： | 2019-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN110361436B | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 张顺平 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/40 | 分类号： | G01N27/40 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 张彩锦;曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体传感器气敏检测领域，并具体公开了一种梯度叠层阵列、制备方法及气体多组分浓度检测方法，该梯度叠层阵列包括从上至下依次布置的至少两个微孔过滤膜/半导体气敏膜叠层器件，各微孔过滤膜/半导体气敏膜叠层器件上的微孔过滤膜的孔径从上至下依次减小；其制备方法包括：先制备不同孔径的微孔过滤膜/半导体气敏膜叠层器件，然后将不同孔径的微孔过滤膜/半导体气敏膜叠层器件按照孔径由大到小的规律从上至下依次布置；上述制备方法制备的梯度叠层阵列可用于气体多组分浓度的检测。本发明可实现已知多组分气体的各组分浓度的检测，具有检测快速准确、适用范围广等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 梯度 阵列 制备 方法 气体 组分 浓度 检测 | ||
【主权项】：
1.一种梯度叠层阵列，用于气体多组分浓度的检测，其特征在于，该梯度叠层阵列包括从上至下依次布置的至少两个微孔过滤膜/半导体气敏膜叠层器件，且各微孔过滤膜/半导体气敏膜叠层器件上的微孔过滤膜的孔径从上至下依次减小。
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