[发明专利]转移结构体的方法有效
申请号: | 201910618042.4 | 申请日: | 2019-07-10 |
公开(公告)号: | CN110707034B | 公开(公告)日: | 2023-08-29 |
发明(设计)人: | 拉米·贝纳萨;伊斯梅尔·德吉尔门西奥格卢 | 申请(专利权)人: | 原子能和替代能源委员会 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L33/00 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 王子晔;陈万青 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及转移方法,包括:步骤a),提供包括第一面的支撑层(100),结构体(200)通过它们的正面结合在第一面(110)上;步骤c),将结构体(200)转移到主基板的主面上。支撑层(100)包括位于结构体(200)之间的折叠区域(101),其被调整以在外部激发的作用下从折叠状态变化到展开状态,该方法在步骤a)和c)之间包括执行外部动作的步骤b),使得折叠区域从折叠状态变化成展开状态,以使位于结构体(200)之间的间隔变化。 | ||
搜索关键词: | 转移 结构 方法 | ||
【主权项】:
1.将结构体转移到主基板(400)上的方法,所述方法包括以下连续步骤:/na)提供支撑层(100)和结构体(200),所述支撑层(100)包括分别称为第一面(110)和第二面(120)的两个主要面,每个所述结构体包括正面(210)和背面(220),所述结构体经它们的正面(210)结合在第一面(110)上;/n步骤c),将结构体(200)转移到主基板(400)的主面(410)上,/n所述方法的特征在于:/n所述支撑层(100)包括位于所述结构体(200)之间的折叠区域(101),其适于在外部激发的作用下以可逆的方式从折叠状态变化到展开状态,/n所述方法在步骤a)和c)之间还包括执行外部动作的步骤b),所述步骤b)使得在执行步骤c)之前,所述折叠区域(101)从折叠或展开状态中的一种状态变化至折叠或展开状态中的另一种状态,使得所述结构体(200)相对于彼此的相对位置之间的间隔变化,/n所述支撑层(100)还包括中间层(203),所述中间层(203)在外部激发的作用下适于改变其应力状态,从而产生从折叠和展开状态中的一种状态变化至这两种状态下中另一种状态,所述支撑层(100)从其第一面(110)到其第二面(120)包括第一层(201)、中间层(203)和第二层(202),所述第一层(201)和第二层(202)在折叠区域(101)的层面处分别具有第一沟槽(201a)和第二沟槽(202b),当所述支撑层(100)处于折叠状态时,所述第一沟槽(201a)和第二沟槽(202b)在其层面处为内接折痕。/n
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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