[发明专利]倾斜运输托盘的镀膜设备在审
| 申请号： | 201910600414.0 | 申请日： | 2019-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN110257793A | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 卢贤政;陈厚模;陈麒麟 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了倾斜运输托盘的镀膜设备，包括：用于放置基板的托盘和运送托盘的传输轨道，传输轨道具有倾斜运输段，倾斜运输段设置有至少一个镀膜装置；倾斜运输段运送托盘时，托盘与水平面存在夹角θt，镀膜装置的给托盘中的基板投射镀膜。本发明能简易实现基板的双面镀膜，镀膜效率高且基板的生产品质好。 | ||
| 搜索关键词： | 托盘 倾斜运输 基板 传输轨道 镀膜设备 镀膜装置 运送 镀膜效率 生产品质 双面镀膜 镀膜 投射 简易 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜设备，包括：用于放置基板的托盘和运送托盘的传输轨道，其特征在于，所述传输轨道具有倾斜运输段，所述倾斜运输段设置有至少一个镀膜装置；所述倾斜运输段运送所述托盘时，所述托盘与水平面存在夹角θt，所述镀膜装置的给所述托盘中的基板投射镀膜。
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