[发明专利]硅衬底蚀刻溶液有效
| 申请号： | 201910573064.3 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110655924B | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 柳浩成;文暎善;李浚银;张平和 | 申请（专利权）人： | OCI有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/08 | 分类号： | C09K13/08 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吕琳;宋东颖 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及硅衬底蚀刻溶液，更加详细地，涉及当蚀刻氮化硅膜时，与氧化硅膜相比可提高对氮化硅膜的蚀刻选择比并提高高温稳定性的硅衬底蚀刻溶液。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 蚀刻 溶液 | ||
【主权项】：
1.一种硅衬底蚀刻溶液，其特征在于，/n包含：/n磷酸；以及/n硅添加剂，包含由以下化学式1及化学式2表示的化合物中的至少一种：/n化学式1：
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