[发明专利]掩膜板及掩膜组件有效
| 申请号： | 201910406476.8 | 申请日： | 2019-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN110079763B | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 彭丽娟 | 申请（专利权）人： | 苏州清越光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 王程;李姣姣 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种掩膜板，包括遮挡部和环绕所述遮挡部的外围沉积图案区；所述外围沉积图案区具有多个贯穿所述掩膜板的沉积开口；其中，多个所述沉积开口沿相同方向并行延伸，所述沉积开口的延伸方向平行于所述掩膜板。如此，当使用该掩膜板制备显示面板时，掩膜板的遮挡部受力均匀，减少了上翘、下垂或塌陷的现象的发生，且外围沉积图案区环绕遮挡部设置，多个沉积开口沿相同方向并行排布，当掩膜板张网时可以施加于遮挡部相同方向(例如张网方向)上的拉力，从而进一步减少上翘、下垂或塌陷的现象的发生，提高了蒸镀的精度。还提供一种掩膜组件。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 组件 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板，其特征在于，包括遮挡部和环绕所述遮挡部的外围沉积图案区；所述外围沉积图案区具有多个贯穿所述掩膜板的沉积开口；其中，多个所述沉积开口沿相同方向并行排布。
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