[发明专利]静电吸盘系统、成膜装置、被吸附体分离方法、成膜方法及电子器件的制造方法在审
| 申请号： | 201910369325.X | 申请日： | 2019-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN110938797A | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 柏仓一史;石井博 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/50;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的静电吸盘系统的特征在于，该静电吸盘系统包括：静电吸盘，包括多个电极部；电压施加部，用于对所述静电吸盘的所述电极部施加电压；以及电压控制部，用于控制由所述电压施加部施加的电压，所述电压控制部控制所述电压施加部，以相对于吸附有第1被吸附体且隔着所述第1被吸附体吸附有第2被吸附体的所述静电吸盘的所述多个电极部中的每一个电极部，在所述第1被吸附体与所述第2被吸附体接触的状态下，独立地施加用于使所述第1被吸附体与所述第2被吸附体从所述静电吸盘一起分离的电压。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 吸盘 系统 装置 吸附 分离 方法 电子器件 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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