[发明专利]一种铁电存储器、制作方法及操作方法

摘要

本发明提供了一种铁电存储器、制作方法及操作方法，该铁电存储器结构在铁电存储层和介质层之间插入一层辅栅层，其栅极叠层结构主要包括介质层、辅栅层、铁电存储层和主栅层，利用辅栅层和主栅层直接对铁电存储层施加极化翻转电压，解决了现有技术中存在介质层分压的问题，进而降低了编程和擦除的操作电压，同时也保证了读取电压的不变，有效消除了电荷俘获效应，增大了存储窗口，进一步提高了铁电存储器的读取速度、保持特性和耐久性。

主权项

1.一种铁电存储器，其特征在于，所述铁电存储器包括：衬底，所述衬底包括源区域和漏区域；设置在所述源区域上的源极结构；设置在所述漏区域上的漏极结构；设置在所述衬底上的栅极叠层结构，所述栅极叠层结构包括依次设置在所述衬底上的介质层、辅栅层、铁电存储层和主栅层。