[发明专利]一种可见光的光电转换结构及制作方法在审

专利信息
申请号: 201910275798.3 申请日: 2019-04-08
公开(公告)号: CN109950335A 公开(公告)日: 2019-06-28
发明(设计)人: 刘卫国;王卓曼;刘欢;白民宇;舒利利;韩军;安妍 申请(专利权)人: 西安工业大学
主分类号: H01L31/0236 分类号: H01L31/0236;H01L31/108;H01L31/18
代理公司: 西安智大知识产权代理事务所 61215 代理人: 何会侠
地址: 710021 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种可见光的光电转换结构及制作方法,该光电转换结构包括黑硅基底,以及在黑硅基底表面依次覆盖的下电极、光敏层和上电极三层薄膜,其中上电极透明,下电极为不透明反光薄膜;入射光透过上电极,在黑硅基底表层微结构空间内以下电极为反射面多次反射,多次穿过光敏层发生光电转换,提高了可见光吸收率;同时该探测结构仅利用黑硅表面三维微结构的几何形貌,不将黑硅作为敏感材料,黑硅能带结构等内部物理特性不会影响探测结构性能,避免了传统黑硅光电转换结构中光生载流子大量复合、载流子横向输运能力差以及退火带来的吸收率下降等问题;该结构采用干法刻蚀制作基底,然后制作表面膜层,工艺稳定性高,效率高,成本低,可以实现批量化制造。
搜索关键词: 黑硅 光电转换结构 电极 可见光 光敏层 制作 基底 吸收率 可见光吸收率 退火 工艺稳定性 光生载流子 三维微结构 载流子横向 表面膜层 多次反射 反光薄膜 干法刻蚀 光电转换 基底表层 基底表面 几何形貌 结构性能 敏感材料 能带结构 探测结构 物理特性 影响探测 不透明 反射面 批量化 入射光 微结构 下电极 三层 输运 下电 薄膜 穿过 复合 透明 覆盖 制造
【主权项】:
1.一种可见光的光电转换结构,其特征在于:包括黑硅基底(1)、下电极(2)、光敏层(3)以及上电极(4);所述下电极(2)覆盖在黑硅基底(1)的上表面,光敏层(3)覆盖在下电极(2)的上表面,上电极(4)覆盖在光敏层(3)的上表面,构成纵向多层薄膜探测结构;所述黑硅基底(1)为表层具有三维微结构的硅片,下电极(2)为能够发射可见光的同时收集光生载流子不透明导电金属薄膜,光敏层(3)为在可见光照射下产生光生载流子的敏感材料构成的薄膜,上电极(4)为能够在透过可见光的同时收集光生载流子的透明导电薄膜;当可见光照射到光电转换结构表面,由于上电极(4)透明,因此光波透过上电极(4)到达光敏层(3),部分光波被光敏层(3)吸收并产生光生载流子,部分光波透过光敏层(3)到达下电极(2);由于下电极(2)不透明,到达其表面的光波被反射再次进入光敏层(3),再次有部分光波被吸收并产生光生载流子;由于黑硅表层为三维微结构,光波在微结构内部能够多次反射,即多次穿过光敏层(3);光波每次穿过光敏层(3)都有一部分被吸收,多次穿过后实现大部分光波被光敏层(3)吸收,从而显著提高可见光的吸收率;光敏层(3)在光照下产生的光生载流子在外加电场作用下到达下电极(2)和上电极(4),被下电极(2)和上电极(4)收集对外输出电流。
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  • 本实用新型公开了一种新型埋栅光伏电池片,涉及光伏发电技术领域。本实用新型包括P型硅板,P型硅板上表面设有N++层,N++层上表面设有N+层,N+层上表面设有氧化硅层,氧化硅层上设有选择性发射结层,P型硅板下表面设有背电场,背电场下表面设有背电极,氧化硅层、N+层、N++层和P型硅板上设有开设有沟槽,沟槽是采用激光刻出的槽,沟槽内填充有电镀栅线。本实用新型通过激光进行刻槽,并将金属化的栅线嵌入电池表面的狭窄沟槽内,通过选择性发射结降低电池片串联电阻,通过使用电镀镍、铜和锡的方法制备金属化的栅线,实现了电池的金属化,解决了现有的光伏电池片发电效率较低的问题。
  • 一种双面太阳能电池及其制备方法-201910313303.1
  • 胡党平;张树德;连维飞;魏青竹;倪志春;苗凤秀;姚悦;王金艺 - 苏州腾晖光伏技术有限公司
  • 2019-04-18 - 2019-07-16 - H01L31/0236
  • 本申请公开了一种双面太阳能电池,包括P型衬底层;位于P型衬底层第一表面的第一掺杂层,第一掺杂层包括第一重掺杂区和环绕在第一重掺杂区外边缘的第一轻掺杂区;位于第一掺杂层上表面的第一钝化层;位于第一钝化层上表面的第一电极,且第一电极与第一重掺杂区接触;位于P型衬底层第二表面的第二掺杂层,第二掺杂层包括第二重掺杂区和第二轻掺杂区;位于第二掺杂层下表面的第二钝化层;位于第二钝化层下表面的第二电极;其中,第一表面与第二表面相对。本申请中的双面太阳能电池,在电池的第一表面和第二表面均采用选择性发射极技术,使光电转换效率得到进一步提升。此外,本申请还提供一种具有上述优点的制备方法。
  • 一种用于晶体硅太阳能电池的制绒槽及单晶硅制绒工艺-201910331455.4
  • 周公庆;王璞;王岚 - 通威太阳能(成都)有限公司
  • 2019-04-23 - 2019-07-05 - H01L31/0236
  • 本发明公开了一种用于晶体硅太阳能电池的制绒槽及单晶硅制绒工艺,涉及太阳能电池制备技术领域,本发明用于晶体硅太阳能电池的制绒槽包括上端开口的槽体,槽体为圆筒形,槽体内径为40‑60cm,槽体内底部为往外凸的弧形面,弧形面深度为h,h=4‑6cm,槽体内底部设置有搅拌机构,槽体底部设置有加热元件,单晶硅制绒工艺采用上述用于晶体硅太阳能电池的制绒槽,本发明具有结构简单、可保证制绒液的温度和浓度分布均匀、制得的单晶硅电池制绒绒面的均匀性好的优点。
  • 一种可见光的光电转换结构及制作方法-201910275798.3
  • 刘卫国;王卓曼;刘欢;白民宇;舒利利;韩军;安妍 - 西安工业大学
  • 2019-04-08 - 2019-06-28 - H01L31/0236
  • 本发明公开了一种可见光的光电转换结构及制作方法,该光电转换结构包括黑硅基底,以及在黑硅基底表面依次覆盖的下电极、光敏层和上电极三层薄膜,其中上电极透明,下电极为不透明反光薄膜;入射光透过上电极,在黑硅基底表层微结构空间内以下电极为反射面多次反射,多次穿过光敏层发生光电转换,提高了可见光吸收率;同时该探测结构仅利用黑硅表面三维微结构的几何形貌,不将黑硅作为敏感材料,黑硅能带结构等内部物理特性不会影响探测结构性能,避免了传统黑硅光电转换结构中光生载流子大量复合、载流子横向输运能力差以及退火带来的吸收率下降等问题;该结构采用干法刻蚀制作基底,然后制作表面膜层,工艺稳定性高,效率高,成本低,可以实现批量化制造。
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