[发明专利]一种采用后退火处理的共溅射制备MWCNT@XY的方法及MWCNT@XY有效

专利信息
申请号: 201910190140.2 申请日: 2019-03-13
公开(公告)号: CN109913851B 公开(公告)日: 2021-02-23
发明(设计)人: 埃泽尔·马丁·阿金诺古;薛亚飞;迈克尔·吉尔森 申请(专利权)人: 肇庆市华师大光电产业研究院
主分类号: C23C16/26 分类号: C23C16/26;C23C14/34;C23C14/18;C23C14/06;C23C14/08;C23C28/04;C23C28/00
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 任重
地址: 526040 广东省肇庆市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种采用后退火处理的共溅射制备MWCNT@XY的方法及MWCNT@XY。所述方法包括如下步骤:S1:在玻碳载体上生长独立、垂直排列的MWCNT阵列;S2:在MWCNT阵列上共溅射沉积得到涂层X’和Y’;S3:对S2共溅射得到的MWCNT阵列进行后退火处理即得所述MWCNT@XY。本发明通过共溅射在MWCNT阵列上沉积X’和Y’涂层,然后利用后退火处理,使得X’和Y’两种材料迁移重结晶并混合,最终得到的MWCNT@XY涂层均匀,可广泛应用于电催化、电分析、超级电容器和电池等领域。
搜索关键词: 一种 采用 退火 处理 溅射 制备 mwcnt xy 方法
【主权项】:
1.一种采用后退火处理的共溅射制备MWCNT@XY的方法,其特征在于,包括如下步骤:S1:在玻碳载体上生长独立、垂直排列的MWCNT阵列;S2:在MWCNT阵列上共溅射沉积得到涂层X’和Y’;S3:对S2共溅射得到的MWCNT阵列进行后退火处理即得所述MWCNT@XY;其中,X’为活性材料1,X为活性材料1、其硫化物、氧化物或氮化物;Y’为活性材料2,Y为活性材料2、其硫化物、氧化物或氮化物。
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