[发明专利]一种采用后退火处理的共溅射制备MWCNT@XY的方法及MWCNT@XY有效
申请号: | 201910190140.2 | 申请日: | 2019-03-13 |
公开(公告)号: | CN109913851B | 公开(公告)日: | 2021-02-23 |
发明(设计)人: | 埃泽尔·马丁·阿金诺古;薛亚飞;迈克尔·吉尔森 | 申请(专利权)人: | 肇庆市华师大光电产业研究院 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;C23C14/34;C23C14/18;C23C14/06;C23C14/08;C23C28/04;C23C28/00 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 任重 |
地址: | 526040 广东省肇庆市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种采用后退火处理的共溅射制备MWCNT@XY的方法及MWCNT@XY。所述方法包括如下步骤:S1:在玻碳载体上生长独立、垂直排列的MWCNT阵列;S2:在MWCNT阵列上共溅射沉积得到涂层X’和Y’;S3:对S2共溅射得到的MWCNT阵列进行后退火处理即得所述MWCNT@XY。本发明通过共溅射在MWCNT阵列上沉积X’和Y’涂层,然后利用后退火处理,使得X’和Y’两种材料迁移重结晶并混合,最终得到的MWCNT@XY涂层均匀,可广泛应用于电催化、电分析、超级电容器和电池等领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 采用 退火 处理 溅射 制备 mwcnt xy 方法 | ||
【主权项】:
1.一种采用后退火处理的共溅射制备MWCNT@XY的方法,其特征在于,包括如下步骤:S1:在玻碳载体上生长独立、垂直排列的MWCNT阵列;S2:在MWCNT阵列上共溅射沉积得到涂层X’和Y’;S3:对S2共溅射得到的MWCNT阵列进行后退火处理即得所述MWCNT@XY;其中,X’为活性材料1,X为活性材料1、其硫化物、氧化物或氮化物;Y’为活性材料2,Y为活性材料2、其硫化物、氧化物或氮化物。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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