[发明专利]一种玻璃基透射可见光的DLC复合增硬薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201910168843.5 | 申请日： | 2019-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN109797370A | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 赵青南;常潇;董玉红;赵杰 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 张秋燕 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种玻璃基透射可见光的类金刚石（DLC）复合增硬薄膜及其制备方法。该玻璃基DLC复合增硬薄膜是在玻璃基片表面用磁控溅射工艺沉积碳氧化硅过渡层和DLC层，所述薄膜结构为碳氧化硅过渡层/DLC薄膜。该玻璃基DLC复合增硬薄膜在满足光学性能的同时又具有良好的硬度，而且不易脱落。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃基 增硬 薄膜 复合 透射可见光 碳氧化硅 过渡层 制备 玻璃基片表面 磁控溅射工艺 薄膜结构 光学性能 类金刚石 沉积 | ||
【主权项】：
1.一种玻璃基透射可见光的DLC复合增硬薄膜，其特征在于，所述薄膜结构为依次附着在玻璃基体表面的碳氧化硅过渡层和DLC薄膜。
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