[发明专利]靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201910156411.2 | 申请日： | 2019-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN111636052A | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;马国成 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C27/06;B22F3/15 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种靶材的制备方法，包括：提供铬粉、钽粉和钛粉的混合粉；将所述混合粉放入包套中进行装模；将装模后的所述混合粉进行热等静压工艺。将所述混合粉放入包套中进行装模，避免后续的所有加工工艺当中，所述混合粉与外界接触的机会，减少所述混合粉中的金属元素被氧化的可能性，从而减少靶材当中的含氧量，从而减小所生产出的靶材内部缺陷；使用热等静压工艺将所述混合粉烧结成为铬钽钛合金，减少了硬脆性质的中间相合金的生成，提高了机加工性能。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 方法 | ||
【主权项】：
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