[发明专利]智能型振动加速度传感器基座在审
| 申请号： | 201910155882.1 | 申请日： | 2019-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN109725173A | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 符栋梁;李国平;王强;张跃;张心玮;陶巧伟 | 申请（专利权）人： | 中国船舶重工集团公司第七0四研究所 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097;G01P1/00;G01P1/12 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 王晶 |
| 地址： | 200031*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种智能型振动加速度传感器基座，具有一个传感器基座块，至少一个RFID电子标签模块，所述RFID电子标签模块通过底部绝缘密封垫安装于传感器基座块底部，所述RFID电子标签模块上部通过填充涂层与传感器基座块密封紧固连接，所述传感器基座块上部密封紧固连接陶瓷盖板。该基座是在加速度传感器基座基础上通过结构改进增加RFID电子标签，可在固定加速度传感器的同时亦可自动识别该型设备的设备信息和测点信息。本发明相对于在线监测设备，无须在被测测点位置预埋振动加速度传感器，布置在线测量线缆，这样不仅降低前端传感器采购成本，还降低了传感器损坏和长期搁置精度不良的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器基座 振动加速度传感器 加速度传感器 密封紧固 在线监测设备 传感器损坏 绝缘密封垫 前端传感器 测点位置 基座基础 结构改进 设备信息 陶瓷盖板 在线测量 自动识别 测点 线缆 预埋 填充 搁置 采购 | ||
【主权项】：
1.一种智能型振动加速度传感器基座，具有一个传感器基座块，至少一个RFID电子标签模块，其特征在于：所述RFID电子标签模块通过底部绝缘密封垫安装于传感器基座块底部，所述RFID电子标签模块上部通过填充涂层与传感器基座块密封紧固连接，所述传感器基座块上部密封紧固连接陶瓷盖板。
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- 2018-04-24 - 2018-12-14 - G01P15/097
- 本实用新型涉及一种声表面波谐振器型热对流式双轴加速度计结构，包括基板、顶面绝缘层、底面绝缘层、加热器，顶面绝缘层、底面绝缘层分别设置在基板的上表面和下表面，加热器设置在基板的中部；所述基板顶面绝缘层上对称分布于加热器上端面四侧设有4个同频率的声表面波谐振器；所述底面绝缘层上设有输入信号电极、输出信号电极、接地电极；所述基板封接有封帽，顶面绝缘层四边设有封接区，基板为正方形基板。通过本实用新型，采用声表面波谐振器作为感测元件，输出信号为准数字的谐振频率，分辨率高、测量精度高，便于对测量结果作进一步的数字化处理；采用常规的微机械加工工艺，并采用正方形基板和封帽结构，适合于批量化生产。
- 一种声表面波谐振器型气泡式双轴加速度计结构-201820591495.3
- 赵成;陈磊;张凯;孙妍;郭鹏飞;王健 - 扬州大学
- 2018-04-24 - 2018-11-20 - G01P15/097
- 本实用新型涉及一种声表面波谐振器型气泡式双轴加速度计结构，包括基板、顶面绝缘层、底面绝缘层、加热器，顶面绝缘层、底面绝缘层分别设置在基板上的顶面和底面，加热器设置在基板的中部；顶面绝缘层上对称分置于加热器上端面四侧设有4组声表面波谐振器；底面绝缘层上设有输入信号电极、输出信号电极、接地电极；基板封接有封帽，基板为正方形基板；通过本实用新型，采用声表面波谐振器作为感测元件，输出信号为准数字的谐振频率或振荡频率，易于实现高分辨率、高精度的测量，且便于对测量结果作进一步的数字化处理；采用常规的微机械加工工艺，并采用正方形截面的基板和盖帽结构，便于采用圆片级封装技术，适合于批量化生产。
- 一种加速度传感器-201810984022.4
- 严启臻 - 北京梦之墨科技有限公司
- 2018-08-27 - 2018-11-06 - G01P15/097
- 本发明提供一种加速度传感器，涉及传感器技术领域。本发明提供的加速度传感器包括主体、低熔点金属液滴、第一电极层、第二电极层、摩擦起电层、电阻、电压表、滤波器和存储器，其中，主体的第一面上设置有容纳槽，第一电极层位于容纳槽的内壁上，容纳槽内为真空，低熔点金属液滴位于容纳槽内，摩擦起电层覆盖于容纳槽上，第二电极层覆盖于摩擦起电层上，电阻、电压表、滤波器和存储器均设置于主体的第一面上，电阻连接于第一电极层和第二电极层之间，电压表与电阻并联，滤波器的输入端与电压表的输出端连接，滤波器的输出端与存储器连接。本发明的加速度传感器无需使用电源进行驱动，结构简单、成本低。
- 带有柔性放大机构的基于SOQ石英振梁加速度计芯片-201810652181.4
- 赵玉龙;韩超;李村;李波;张琪;赵友 - 西安交通大学
- 2018-06-22 - 2018-11-02 - G01P15/097
- 一种带有柔性放大机构的基于SOQ石英振梁加速度计芯片，包括键合的石英结构和硅结构；石英结构包括石英框架、石英音叉、连接杆、杠杆、铰链、质量块、输入端和刻蚀间隙组成的平面内差动石英振梁芯片结构；硅结构包括硅框架，硅框架内设有释放槽；石英框架和硅框架完全键合到一起；石英音叉、连接杆、杠杆、铰链、输入端、质量块和刻蚀间隙完全悬空于释放槽上；输入端、铰链、杠杆、连接杆共同组成杠杆放大机构，质量块受加速度作用产生惯性力时，惯性力通过输入端传递到杠杆，杠杆放大后传递给连接杆，连接杆把力先集中再均分到石英音叉的两根振梁，影响振梁的频率，通过两端振梁的频率差测得加速度；本发明具有灵敏度高，体积小等优点。
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