[发明专利]负型感光性树脂组合物及其用途有效
| 申请号： | 201910039604.X | 申请日： | 2019-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN111443573B | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 吴宜骏;徐慧桓;蓝大钧;张志毅 | 申请（专利权）人： | 台湾永光化学工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;G03F7/004;G03F7/09 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 中国台湾台北*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种负型感光性树脂组合物，包括：(A)5重量百分比至20重量百分比的聚硅氧烷化合物，其由多种单体所聚合而成，其中，这些单体包括如下式(a‑1)、(a‑2)及(a‑3)所示的硅氧烷单体；(B)6重量百分比至20重量百分比的硅酸酯寡聚物，包括一低烷氧基硅酸酯寡聚物，其中该低烷氧基硅酸酯寡聚物的含量占该硅酸酯寡聚物总重量的60％至100％；(C)0.1重量百分比至10重量百分比的光酸产生剂；以及(D)余量溶剂； |
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| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 及其 用途 | ||
【主权项】：
暂无信息
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