[发明专利]铁电组合件及形成铁电组合件的方法

摘要

一些实施例包含铁电组合件。一些实施例包含一种电容器，所述电容器在第一电极与第二电极之间具有铁电绝缘材料。所述电容器还在所述第二电极与所述铁电绝缘材料之间具有金属氧化物。所述金属氧化物具有小于或等于约的厚度。一些实施例包含一种形成组合件的方法。在含半导体基底上方形成第一电容器电极。在所述第一电极上方形成铁电绝缘材料。在所述铁电绝缘材料上方形成含金属材料。氧化所述含金属材料以由所述含金属材料形成金属氧化物。在所述金属氧化物上方形成第二电极。