[发明专利]沉积掩模在审
申请号: | 201880076181.2 | 申请日: | 2018-10-22 |
公开(公告)号: | CN111512461A | 公开(公告)日: | 2020-08-07 |
发明(设计)人: | 曹守铉;孙晓源 | 申请(专利权)人: | LG伊诺特有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;C23C14/04;C23F1/02;H01L51/00 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 李琳;陈英俊 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 实施例涉及一种用于沉积用于OLED像素沉积的金属材料的沉积掩模。沉积掩模包括:用于沉积的多个可用部分;以及除了可用部分之外的不可用部分。可用部分被布置成在纵向方向上彼此间隔开。每个可用部分包括:布置在其中心的多个可用区域;以及分别围绕多个可用区域的外部区域。每个可用区域包括:在其一个表面上形成的多个第一小孔;在其的与所述一个表面相对的另一表面上形成的多个第一大孔;与第一小孔和第一大孔连通的多个第一通孔;以及形成在第一通孔之间的第一岛部。每个外部区域包括:在其一个表面上形成的多个第二小孔;在其的与所述一个表面相对的另一表面上形成的多个第二大孔;与第二小孔和第二大孔连通的多个第二通孔;以及形成在第二通孔之间的第二岛部。第二通孔被布置为围绕可用区域并且小于第一通孔。 | ||
搜索关键词: | 沉积 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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