[发明专利]承载装置、磁性重力补偿器、振动隔离系统、光刻设备、控制具有负刚度的重力补偿器的方法、以及弹簧有效
| 申请号： | 201880017655.6 | 申请日： | 2018-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN110446978B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | M·H·基曼;H·巴特勒;O·M·J·费希尔;C·A·霍根达姆;A·T·M·J·M·休伊辛加;J·M·M·罗弗斯;E·P-Y·文纳特;M·W·J·E·维杰克曼斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F16C39/06 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;吕世磊 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种承载装置，被布置成相对于设备的第二部分在竖直方向上支撑设备的第一部分，承载装置包括磁性重力补偿器。磁性重力补偿器包括：第一永磁体组件，被安装到第一部分和第二部分中的一个部分并且包括永磁体的至少第一列，第一列在竖直方向上延伸，其中永磁体具有在第一水平方向上或在与第一水平方向相反的第二水平方向上的极化方向，其中竖直相邻的永磁体具有相反的极化方向；第二永磁体组件，安装到第一部分和第二部分中的另一个部分，并且包括永磁体的至少另一列，至少另一列在竖直方向上延伸，其中至少另一列的竖直相邻的永磁体在第一水平方向或第二水平方向上具有相反的极化方向，其中第一永磁体组件至少部分地包围第二永磁体组件。 | ||
| 搜索关键词： | 承载 装置 磁性 重力 补偿 振动 隔离 系统 光刻 设备 控制 具有 刚度 方法 以及 弹簧 | ||
【主权项】：
1.一种承载装置，被布置成相对于设备的第二部分在竖直方向上支撑所述设备的第一部分，所述承载装置包括磁性重力补偿器，其中所述磁性重力补偿器包括：第一永磁体组件，安装到所述第一部分和所述第二部分中的一个部分并且包括永磁体的至少第一列，所述第一列在所述竖直方向上延伸，其中所述永磁体具有在第一水平方向上或在与所述第一水平方向相反的第二水平方向上的极化方向，其中竖直相邻的永磁体具有相反的极化方向，第二永磁体组件，安装到所述第一部分和所述第二部分中的另一部分并且包括永磁体的至少另一列，所述至少另一列在所述竖直方向上延伸，其中所述至少另一列的竖直相邻的永磁体在所述第一水平方向或所述第二水平方向上具有相反的极化方向，其中所述第一永磁体组件至少部分地包围所述第二永磁体组件。
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