[实用新型]机械手臂有效
| 申请号： | 201822060140.4 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN208954958U | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 朱小凡;张文福;刘家桦;叶日铨 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/687 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;陈丽丽 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的机械手臂，包括驱动器、控制器、承载臂和压力传感器；所述承载臂包括相对分布的第一末端和第二末端，所述驱动器与所述第一末端连接，用于驱动所述承载臂做直线运动；所述压力传感器设置于所述承载臂的运动方向上、并与所述第二末端相对，用于检测所述第二末端施加于其上的压力；所述控制器连接所述驱动器与所述压力传感器，用于判断所述压力传感器检测到的实际压力是否等于参考压力，若是，则获取所述承载臂当前运动的实际距离，并以所述实际距离和参考距离之间的差值作为所述承载臂运动的补偿值。本实用新型降低了机械手臂的校准难度，节省了校准时间。 | ||
| 搜索关键词： | 承载臂 驱动器 压力传感器 机械手臂 本实用新型 实际距离 校准 压力传感器检测 控制器连接 参考距离 参考压力 末端连接 实际压力 相对分布 控制器 施加 驱动 检测 | ||
【主权项】：
1.一种机械手臂，其特征在于，包括驱动器、控制器、承载臂和压力传感器；其中：所述承载臂包括相对分布的第一末端和第二末端，所述驱动器与所述第一末端连接，用于驱动所述承载臂做直线运动；所述压力传感器设置于所述承载臂的运动方向上、并与所述第二末端相对，用于检测所述第二末端施加于其上的压力；所述控制器连接所述驱动器与所述压力传感器，用于判断所述压力传感器检测到的实际压力是否等于参考压力，若是，则获取所述承载臂当前运动的实际距离，并以所述实际距离和参考距离之间的差值作为所述承载臂运动的补偿值。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
