[实用新型]涂布装置

摘要

本实用新型提供了一种涂布装置，所述涂布装置包括盘体和盖体；所述盖体与所述盘体能够相互贴合以形成涂布腔；所述盖体内设置有进气通道和多个出气通道，所述进气通道通过多个进气口与所述涂布腔连通，各所述出气通道通过多个出气口与所述涂布腔连通。完成涂布后多涂的HMDS可经通过多个出气通道排出涂布腔外，因此解决了现有HMDS涂布装置排气耗时长的问题。进一步的，正由于HDMS通过与所述涂布腔连通的所述出气通道排出涂布腔外，而所述出气通道设置在所述盖体内，因此，多余的HDMS的排出是一个自下至上的过程，排出时不会经过所述盘体和所述盖体的贴合处，故而不会存在现有HMDS涂布装置存在的HDMS扩散到装置的盘体和盖体相贴合处而导致HDMS外漏的风险。

主权项

1.一种涂布装置，其特征在于，所述涂布装置包括盘体和盖体；所述盖体与所述盘体能够相互贴合以形成涂布腔；所述盖体内设置有进气通道和多个出气通道，所述进气通道通过多个进气口与所述涂布腔连通，各所述出气通道通过多个出气口与所述涂布腔连通。