[实用新型]一种硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉内用石墨组件有效
| 申请号： | 201821850965.X | 申请日： | 2018-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN209635909U | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 沈长丽;程小会;蒋星光 | 申请（专利权）人： | 河南硅烷科技发展股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/027 | 分类号： | C01B33/027 |
| 代理公司： | 41140 许昌豫创知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 李海帆<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 461700河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉内用石墨组件，包括石墨底座和石墨夹头，其中，石墨底座下部中心位置设置有圆锥形电极插孔，石墨底座上部中心位置设置有倒圆锥形插槽，插孔和插槽之间通过轴向的连接孔相通，石墨底座顶端还设置有卡槽，石墨夹头包括倒锥形部、圆柱部、芯孔、环形支撑板和卡板，石墨夹头下部为锥形部，锥形部与石墨底座上的插槽相适配，锥形部顶端与圆柱部固定连接，锥形部和圆柱部内部中间设置有芯孔，圆柱部外侧固定设置有环形支撑板，环形支撑板底面外侧固定设置有卡板，卡板和石墨底座顶端的卡槽相适配；总的，本实用新型具有稳固连接、防止倒棒、有效防护、降低生产成本的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨底座 圆柱部 锥形部 环形支撑板 石墨夹头 插槽 卡板 本实用新型 固定设置 插孔 芯孔 电子级多晶硅 上部中心位置 圆锥形电极 槽相适配 倒圆锥形 倒锥形部 热分解炉 石墨组件 稳固连接 中间设置 硅烷法 连接孔 倒棒 底面 卡槽 适配 轴向 防护 相通 生产 | ||
【主权项】：
1.一种硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉内用石墨组件，其特征在于：包括石墨底座（1）和石墨夹头（2），其中，所述石墨底座（1）下部中心位置设置有圆锥形电极插孔（11），所述石墨底座（1）上部中心位置设置有倒圆锥形插槽（12），所述插孔（11）和插槽（12）之间通过轴向的连接孔（13）相通，所述石墨底座（1）顶端还设置有卡槽（14），所述石墨夹头（2）包括倒锥形部（21）、圆柱部（22）、芯孔（23）、环形支撑板（24）和卡板（25），所述石墨夹头（2）下部为倒锥形部（21），所述倒锥形部（21）与所述石墨底座（1）上的插槽（12）相适配，所述倒锥形部（21）顶端与所述圆柱部（22）固定连接，所述倒锥形部（21）和圆柱部（22）内部中间设置有所述芯孔（23），所述圆柱部（22）外侧固定设置有所述环形支撑板（24），所述环形支撑板（24）底面外侧固定设置有所述卡板（25），所述卡板（25）和所述石墨底座（1）顶端的卡槽（14）相适配。/n
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